首先是设备材料领域
先来说比较出名的北方华创科技集团,「融资历程」显示,在2019年北方华创就获得了国家集成电路投资基金等机构21亿的投资。
用于晶圆生产的卧式扩散炉因为结构简单,基本能做到自给自足。但结构复杂,关键零部件技术含量高的立式扩散炉被东京电子、日立国际等厂商垄断,目前国内就只有北方华创一家能小批量生产300mm的立式炉。
财务方面,据「利润表」的统计,2019年北方华创总营收40.58亿,利润4.2亿,研发费用5.25亿。
两个字:烧钱!
接下来是上海微电子,这家企业的创始人贺荣明很不简单。据「核心团队」功能显示,此人先后作为项目负责人承担过国家863重大科技专项,主要方向是国产光刻机。
因此上海微电子是国产光刻机去美化进程中扛把子级别的存在!
2020年,上海微电子光刻机最先进的制程为65nm,相较于站在产业链顶端的ASML和尼康,至少还有两代左右的差距。
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